一、設(shè)備名稱：YX-Z6型   硅單晶定向粘接及晶向復(fù)檢儀   

二、設(shè)備概述：

用途：YX-Z6系列定向粘接設(shè)備，是一款集定向、粘接及復(fù)檢功能于一體的高精度、高自動化程度的自動定向粘接設(shè)備。是專門用來在切割前的定向、設(shè)備可根據(jù)用戶的需求，選擇粘接6-12英寸的粘接尺寸，并可兼容6.8英寸，人性的中英文操作界面，方便了用戶與設(shè)備的交互，同時操作簡單，對于使用人員的技術(shù)要求相對較低。多處重點地區(qū)采用了伺服控制系統(tǒng)及絕對值編碼器的全閉環(huán)設(shè)計，保證了定向精度,儀器具有如下特點：
主要特點：
●高度一體化自動化集成，提供工作效率及產(chǎn)能，降低人工參與產(chǎn)生的誤差。
●配合現(xiàn)代化智能工廠集成管理，節(jié)省人工成本的同時提高產(chǎn)量。
●采用閃爍探測器，接收效率高，最大線性計數(shù)≥5×105CPS，分辨率≤50%。
●弧形導(dǎo)軌設(shè)計，θ，2θ機構(gòu)伺服電機聯(lián)動，精度高，測試速度快，無需校機。
●采用臺達(dá)300系列中型PLC為控制核心，A2系列高精度伺服電機作為驅(qū)動系統(tǒng)，設(shè)備整體自動化程度高、故障率極低、抗干擾能力強、系統(tǒng)穩(wěn)定性好。
●全自動測試，一鍵操作，涂膠后自動完成定向粘接。
●采用進(jìn)口高分辨率絕對值編碼器，大大提高測量精度，規(guī)避了人工測量的讀數(shù)誤差，極大降低了操作者的勞動強度和操作難度。
●具有峰值放大的特殊積分器，采用高壓模塊器件，提高檢測精度;
●光柵自動控制關(guān)閘設(shè)計，只在必要時打開，安全方便無隱患;
●全自動激光定位notch,精確度高，重復(fù)性好。
●高精度壓力檢測傳感，實施壓力補償，恒壓控制粘接。
●全伺服自動定位，位置控制，速度控制精確，效率高。
●數(shù)據(jù)可掃碼，可打印實現(xiàn)機臺每根晶棒自帶身份數(shù)據(jù)。
●測量數(shù)據(jù)可通過USB存儲到U盤等移動存儲設(shè)備，轉(zhuǎn)化成Excel也可與DCS集成控制系統(tǒng)對接，實現(xiàn)大數(shù)據(jù)集中管理。

三、設(shè)備技術(shù)參數(shù)