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GA型測(cè)角儀：
按測(cè)量晶圓片，晶棒設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)帶有承重軌道，可測(cè)30公斤，直徑Φ2--6英寸（可增加到8英寸）的晶圓片與晶棒；在樣品臺(tái)上加有真空吸氣裝置，能測(cè)量晶圓片硅（111）藍(lán)寶石A,C,R等其它晶體的角度，同時(shí)可測(cè)晶棒的參考面或OF面（110）A等角度。 | |
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GB型測(cè)角儀：
專(zhuān)為硅、藍(lán)寶石晶棒設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)為寬130mm、長(zhǎng)300mm定位平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托，測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸，長(zhǎng)400mm晶棒的端面，如：硅（111）藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度；第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面，第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面。 | |
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GC型測(cè)角儀：
按測(cè)晶棒設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)帶有承重軌道，有滾杠型支撐架�？蓽y(cè)30公斤，直徑Φ2--Φ8英寸，長(zhǎng)度為400--500mm的晶棒的端面。在樣品臺(tái)上加有真空吸氣裝置，可通過(guò)改變滾杠寬度，達(dá)到測(cè)Φ2--Φ6英寸目的，轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒用以測(cè)量端面如：硅（111）藍(lán)寶石C面等其它角度的晶體。 | |
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GD型測(cè)角儀：
該型號(hào)測(cè)角儀專(zhuān)為晶圓片參考面的測(cè)量而設(shè)計(jì)，測(cè)切完片后的晶圓片的參考面OF面（110）藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度，樣品臺(tái)設(shè)有吸氣裝置，測(cè)量直徑Φ2--Φ8英寸，厚度0.5mm以上的晶圓片OF面。 | |
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GE型測(cè)角儀：
該型號(hào)測(cè)角儀專(zhuān)為大直徑晶圓片而設(shè)計(jì)的，可測(cè)直徑Φ2--Φ8英寸的晶圓片，如：硅（111）藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度，晶片樣品板有10×10㎜方格，用于晶圓片上下2點(diǎn)180°和4點(diǎn)90°的測(cè)試。 | |
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GF型測(cè)角儀：
該型號(hào)測(cè)角儀樣品臺(tái)，專(zhuān)為鉆床加工好的籽晶條的測(cè)量設(shè)計(jì)，能測(cè)Φ5---Φ20mm圓籽晶，方型5--20mm，長(zhǎng)度150mm的籽晶條，測(cè)量晶面如：硅（111，100）等其它晶體的角度。 | |
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GK型測(cè)角儀：
該型號(hào)測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片，通過(guò)改變樣品板墊塊傾斜角±6°，±8°±15°度位置，來(lái)測(cè)晶圓片角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶體的角度。 | |
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GH型測(cè)角儀：
該型號(hào)測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片，通過(guò)旋轉(zhuǎn)90°度，改變樣品板傾斜角±6°度位置來(lái)測(cè)晶圓片的角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶體的角度。 | |
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GL型測(cè)角儀：
該型號(hào)測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2---Φ6英寸晶圓片；如硅（111）藍(lán)寶石C等角度；同時(shí)立測(cè)能測(cè)晶棒參考面或OF，并有垂直參考尺，便于劃線加工參考面，如硅：110面等其它晶體的角度。 | |
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