針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設(shè)計，此儀器為雙工作位。

  標準配置如下：GA, GC測角儀。
    1、一側(cè)用于測3--8英寸晶圓片111、100面，還可測晶棒參考面（110）等角度。
    2、另一側(cè)用于測直徑5----8英寸，長800mm晶棒（111、100）晶面等角度。

  主要參數(shù)：

項 目	參 數(shù)
晶棒直徑	5---8英寸、最大11寸
晶棒長度	800 mm
樣品板面積	43寬×112高mm
定向精度	±30″
數(shù)顯方式	θ：度；分；秒；最小讀數(shù)10″
顯示器	外置立式
技術(shù)指標	符合YX-2參數(shù)。
尺 寸	1210×810×1420 mm