一、設(shè)備名稱：YX-12型 X射線晶體定向儀（碳化硅晶體專用）
二、設(shè)備概述：
此設(shè)備為單工作臺:
主要測量碳化硅晶體的主、副參考面。設(shè)備同時配有2inch,4inch,6inch夾具各一套，分別夾持直徑2inch、4inch及6inch晶棒，用來實(shí)現(xiàn)參考面的測定。
三、設(shè)備技術(shù)參數(shù)
1、 儀器配置：YX-12型X射線單晶定向儀由機(jī)臺、管套及各種機(jī)械附件組成的機(jī)械部分；由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風(fēng)冷電機(jī)、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。
2、 技術(shù)指標(biāo)
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項 目 |
參 數(shù) |
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電源輸入 |
單相交流220V、50Hz 、容量0.5KW |
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X射線管 |
銅靶、陽極接地、風(fēng)機(jī)強(qiáng)迫冷卻 |
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管 電壓 |
30 KVP、全壓合閘 |
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管 電流 |
0--5mA、連續(xù)可調(diào) |
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綜合精度 |
±30″ |
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操作方式 |
手 動 |
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狹 縫 |
4′5′ |
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角度顯示 |
θ：以度、分、秒顯示；最小讀數(shù)10″ |
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測角范圍 |
2θ角：－10~120°；θ角：-10~60° |
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角度調(diào)整 |
數(shù)字顯示可預(yù)置在任意角度 |
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峰值顯示 |
射線強(qiáng)度表（µA表） |
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計 數(shù) 管 |
蓋革計數(shù)管、電壓DC700—1200V |
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時間常數(shù) |
0.1、0.4、3、秒；3檔可調(diào) |
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保 護(hù) |
高壓連鎖、溫度保護(hù) |
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外型尺寸 |
1140長x650寬x1030高mm |
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重 量 |
200 kG |
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